兩通、三通的手動(dòng)氣動(dòng)化學(xué)柱塞閥

    在微電子行業(yè)有許多必須用到高腐蝕性及高純度的化學(xué)品，一般都是使用昂貴的pfa材質(zhì)隔膜閥，但隔膜閥必須使用昂貴且耗時(shí)的模具配合高溫高壓的pfa注模方式達(dá)成，過程繁復(fù)；并且隔膜閥因?yàn)楸仨毻ㄟ^狹窄的通道，通道中無可避免的死角也讓研磨液的顆粒容易堵塞及聚積在窄通道內(nèi)，其壓力的損失較為大，流體的順暢度較差。

    為了克服上述技術(shù)缺陷的不足，廠家提供了一種結(jié)構(gòu)合理、耐腐蝕性強(qiáng)、壓力損失小的兩通、三通的手動(dòng)氣動(dòng)化學(xué)柱塞閥。與普通的柱塞閥相比，這種兩通、三通的手動(dòng)氣動(dòng)化學(xué)柱塞閥，結(jié)構(gòu)合理，制造簡單，可根據(jù)需要選擇手動(dòng)或氣動(dòng)方式帶動(dòng)閥芯相對閥體運(yùn)動(dòng)，并通過密封圈保持旋轉(zhuǎn)時(shí)的封閉性，可輕易達(dá)到5萬次開關(guān)保壓測試（在10bar壓力下都可使用）；進(jìn)液口與出液口之間采用多流體通道，增加流體介質(zhì)的通流面積，進(jìn)而降低流體介質(zhì)通過柱塞閥時(shí)的流動(dòng)阻力，從而可以減輕流體介質(zhì)在流經(jīng)該柱塞閥過程中的能量損失。